Технология тонких пленок и покрытий : учебное пособие

В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халько-генидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике.
Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.

Маскаева Л. Н. Технология тонких пленок и покрытий : учебное пособие / Л.Н. Маскаева, Е.А. Федорова, В.Ф. Марков. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, 2019. - 236 с. - ISBN 978-5-7996-2560-3. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/381903/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.