Каталог
Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие

В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам.
Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.
Маскаева Л. Н. Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Л.Н. Маскаева, В.Ф. Марков, С.С. Туленин, Н.А. Форостяная. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, 2018. - 136 с. - ISBN 978-5-7996-2411-8. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/381891/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.