Каталог
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники

В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Достанко А. П. [и др.]. Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А.П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 260 с. - ISBN 978-985-08-2521-6. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/381387/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.