8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (45099)
Высшее образование
Естественные науки (2781)
Естественные науки
Общественные науки (3966)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4986)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1487)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1412)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (819)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4595)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2892)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6467)
Гуманитарные науки
Иностранные языки (2430)
Иностранные языки
Экономика. Экономические науки (7959)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (4139)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (994)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (518)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (3380)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (49348)
Коллекции
Издательские коллекции (48929)
Издательские коллекции
Проспект (3133)
Проспект
Журналы (1146)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Формирование функциональных слоев : учебное пособие

Формирование функциональных слоев : учебное пособие ISBN 978-5-7038-5350-4
ISBN 978-5-7038-5350-4
Авторы: 
Панфилов Ю. В.
Тип издания: 
Учебное пособие
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2020
Количество страниц: 
90
Аннотация

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микрои наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки.
Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Панфилов Ю. В. Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю.В. Панфилов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. - 90 с. - ISBN 978-5-7038-5350-4. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/378435/reading (дата обращения: 26.07.2025). - Текст: электронный.