Каталог
Формирование функциональных слоев : учебное пособие

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микрои наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки.
Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Панфилов Ю. В. Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю.В. Панфилов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. - 90 с. - ISBN 978-5-7038-5350-4. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/378435/reading (дата обращения: 26.07.2025). - Текст: электронный.