Каталог
Микроэлектромеханические системы : учеб. пособие

Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Intema-tional, Discera. Рассмотрены принципы работы и параметры МЭМС-резонаторов. Изложены особенности построения резонаторов и генераторов на основе МЭМС. Осуществлен расчет собственных мод колебаний МЭМС-резонатора в программе ANS YS.
Издание предназначено для студентов радиотехнических специальностей.
Косых А. В. Микроэлектромеханические системы : учеб. пособие / А.В. Косых, А.Н. Лепетаев, А.И. Одинец. - Омск : ОмГТУ, 2016. - 246 с. - ISBN 978-5-8149-2355-4. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/374571/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.