Микроэлектромеханика : учебное пособие

Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».

Остертак Д.И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Д.И. Остертак. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. - 120 с. - ISBN 978-5-7782-2901-3. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/367463/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.