Каталог
Физико-механические компоненты наносистем

Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Панфилов Ю.В. Физико-механические компоненты наносистем / Ю.В. Панфилов, В.М. Утенков, В.П. Михайлов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 184 с. - ISBN 978-5-7038-3499-2. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/363836/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.