Каталог
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Панфилов Ю.В. Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии / Ю.В. Панфилов, К.М. Моисеев, В.П. Михайлов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - 192 с. - ISBN 978-5-7038-3494-7. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/363831/reading (дата обращения: 18.04.2024). - Текст: электронный.