Каталог
Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы)
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники.
Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
Груздов В.В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) / В.В. Груздов, Ю.В. Колковский, Ю.А. Концевой. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - ISBN 978-5-94836-471-1. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/359175/reading (дата обращения: 20.04.2024). - Текст: электронный.