Каталог
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники

Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем.
Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»)
Камлюк В.С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники / В.С. Камлюк, Д.В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2016. - 384 с. - ISBN 978-985-503-627-3. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/354267/reading (дата обращения: 26.07.2025). - Текст: электронный.