8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (39733)
Высшее образование
Естественные науки (2581)
Естественные науки
Общественные науки (3173)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4253)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1409)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1360)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (634)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4332)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2771)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6046)
Гуманитарные науки
Экономика. Экономические науки (6619)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (3350)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (954)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (474)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (2819)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (43754)
Коллекции
Издательские коллекции (43331)
Издательские коллекции
Журналы (999)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Магнетронные распылительные системы : учебное пособие:в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение

Магнетронные распылительные системы : учебное пособие:в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение ISBN 978-5-7038-3798-6
ISBN 978-5-7038-3798-6
Авторы: 
Духопельников Д. В.
Тип издания: 
Учебно-методическое пособие
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2014
Количество страниц: 
53
Аннотация

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Духопельников Д. В. Магнетронные распылительные системы : учебное пособие:в 2 ч. — Ч. 1 : Устройство, принципы работы, применение / Д.В. Духопельников. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. - 53 с. - ISBN 978-5-7038-3798-6. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/343714/reading (дата обращения: 29.03.2024). - Текст: электронный.