8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (39691)
Высшее образование
Естественные науки (2579)
Естественные науки
Общественные науки (3174)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4251)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1406)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1359)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (634)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4330)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2770)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6028)
Гуманитарные науки
Экономика. Экономические науки (6614)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (3346)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (953)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (474)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (2799)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (43399)
Коллекции
Издательские коллекции (42976)
Издательские коллекции
Журналы (999)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Лазеры в микроэлектронике

Лазеры в микроэлектронике ISBN baum_071_11
ISBN baum_071_11
Авторы: 
Малов И.Е., Шиганов И.Н.
Тип издания: 
Учебно-методическое пособие
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2012
Количество страниц: 
73
Не доступна для комплектования
Аннотация

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Малов И.Е. Лазеры в микроэлектронике / И.Е. Малов, И.Н. Шиганов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. - 73 с. - ISBN baum_071_11. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/343713/reading (дата обращения: 19.04.2024). - Текст: электронный.