Каталог
Лазеры в микроэлектронике
Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».
Малов И.Е. Лазеры в микроэлектронике / И.Е. Малов, И.Н. Шиганов. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. - 73 с. - ISBN baum_071_11. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/343713/reading (дата обращения: 19.04.2024). - Текст: электронный.