8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (45099)
Высшее образование
Естественные науки (2781)
Естественные науки
Общественные науки (3966)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4986)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1487)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1412)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (819)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4595)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2892)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6467)
Гуманитарные науки
Иностранные языки (2430)
Иностранные языки
Экономика. Экономические науки (7959)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (4139)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (994)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (518)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (3380)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (49348)
Коллекции
Издательские коллекции (48929)
Издательские коллекции
Проспект (3133)
Проспект
Журналы (1146)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра: учебное пособие

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра: учебное пособие ISBN 5-7038-2926-7
ISBN 5-7038-2926-7
Авторы: 
Сагателян Г. Р., Макушина Н. В.
Тип издания: 
Учебно-методическое пособие
Издательство: 
Москва: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 
2006
Количество страниц: 
50
Аннотация

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Сагателян Г. Р. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра: учебное пособие / Г.Р. Сагателян, Н.В. Макушина. - Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2006. - 50 с. - ISBN 5-7038-2926-7. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/343629/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.