Каталог
Технология приборов оптической электроники и фотоники

В учебном пособии рассмотрены: подготовка к проведению технологического процесса изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники; технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники; межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники; технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка); методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники; процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники; основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов.
Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Технология приборов оптической электроники и фотоники».
Орликов Л.Н. Технология приборов оптической электроники и фотоники / Л.Н. Орликов. - Томск : ТУСУР, 2012. - 87 с. - ISBN TUSUR070. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/27996/reading (дата обращения: 27.07.2025). - Текст: электронный.