8 (812) 320-06-69

Каталог

Категории
Высшее образование (16+) (45099)
Высшее образование
Естественные науки (2781)
Естественные науки
Общественные науки (3966)
Общественные науки
Информатика и компьютерные технологии (4986)
Информатика и компьютерные технологии
Инженерное дело (1487)
Инженерное дело
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника (1412)
Телекоммуникации, электроника, электротехника и радиотехника
Строительство. Архитектура (819)
Строительство. Архитектура
Строительство. Архитектура. Журналы (17)
Строительство. Архитектура. Журналы
Бетон и железобетон (3)
Бетон и железобетон
Жилищное строительство (7)
Жилищное строительство
Строительные материалы (7)
Строительные материалы
Юридические науки.Право (4595)
Юридические науки.Право
Отрасли права (2892)
Отрасли права
Гуманитарные науки (6467)
Гуманитарные науки
Иностранные языки (2430)
Иностранные языки
Экономика. Экономические науки (7959)
Экономика. Экономические науки
Образование. Педагогические науки (4139)
Образование. Педагогические науки
Медицина и здравоохранение (994)
Медицина и здравоохранение
Физическая культура и спорт (518)
Физическая культура и спорт
Среднее профессиональное образование (14+) (3380)
Среднее профессиональное образование
Коллекции (49348)
Коллекции
Издательские коллекции (48929)
Издательские коллекции
Проспект (3133)
Проспект
Журналы (1146)
Журналы
Остаться в выбранном разделе
Назад к каталогу

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем ISBN TUSUR008
ISBN TUSUR008
Авторы: 
Смирнов С.В.
Тип издания: 
Учебное пособие
Издательство: 
Томск: ТУСУР
Год: 
2010
Количество страниц: 
115
Аннотация

Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур.
Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапа-зона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем / С.В. Смирнов. - Томск : ТУСУР, 2010. - 115 с. - ISBN TUSUR008. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/27934/reading (дата обращения: 26.07.2025). - Текст: электронный.