Каталог
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники

Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология нанораз-мерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3Б-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов.
Данилина Т.И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники / Т.И. Данилина, И.А. Чистоедова. - Томск : ТУСУР, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3. - URL: http://m.ibooks.ru/bookshelf/27927/reading (дата обращения: 26.07.2025). - Текст: электронный.